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一顆芯片的制造，遠比想象中更“敏感”。

潔凈室一塵不染，材料足夠純凈，氣體系統正常運行，并不意味著影響制造穩定性的細微變化都已被識別。

在半導體制造現場，空氣中的分子污染物、材料中的痕量金屬、特氣系統中的異常信號，都可能影響工藝穩定、質量控制和現場安全。

聚光科技旗下自主孵化子公司譜育科技，圍繞潔凈環境監測、關鍵材料檢測和特氣安全監測等場景，持續推動高端科學儀器應用于半導體制造真實場景，為先進制造的穩定運行和精細化管理提供技術支撐。

潔凈環境監測

潔凈室里 不只是“沒有灰塵”

半導體潔凈室看起來足夠干凈，但在芯片制造現場，干凈不只是“沒有灰塵”。

工藝化學品使用、設備運行、排風變化、維護作業等，都可能引起空氣中分子污染物的細微波動。如果缺少持續監測，這些變化就難以及時進入判斷和管理流程。

關鍵材料檢測

看起來純凈 也要識別超痕量雜質

芯片制造離不開高純材料和電子級化學品。

在精密制造過程中，即使超痕量金屬雜質，也可能成為需要關注的質量變量。因此，來料檢驗和過程品控需要更早介入。

譜育科技 7350 系列三重四極桿電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS/MS），可用于半導體材料及高純化學品中的痕量金屬檢測，為材料驗證和過程品控提供數據支撐。

在某半導體材料企業應用場景中，該儀器用于6～12英寸硅片、碳化硅片及高純試劑的質量監控，具備ppt級以下的檢出能力。

在相關集成電路制造場景中，該系列儀器也已用于相關電子級化學品的質量控制，支撐硝酸、氫氟酸、雙氧水、IPA 等試劑的過程品控。

這背后不是單點檢測能力，而是高端質譜能力在材料驗證、來料檢驗和制程質量控制等環節的持續應用深化。

特氣安全監測

異常不只是報警 更要進入處置流程

在芯片制造中，電子特氣是重要的工藝介質，也是現場安全管理中的重點監測對象。

對特氣管理來說，關鍵不只是發現泄漏風險或異常濃度，更重要的是讓報警信號及時進入分級聯動處置鏈路。

也就是說，異常一旦出現，不只是發出報警，更要能夠被識別、被傳遞、被響應。

譜育科技 GDM-2100 Series 半導體氣體探測器，可覆蓋多類半導體特氣監測需求。在某集成電路制造場景中，該儀器用于多類特氣安全監測，并通過多層級報警與聯動機制，為現場安全管理提供技術支撐。

看見關鍵變量

支撐先進制造穩定運行

從潔凈環境監測、關鍵材料檢測到特氣安全監測，譜育科技持續推動高端科學儀器應用于半導體制造真實場景。

對先進制造而言，穩定運行不只依賴制造能力，也離不開對細微變化的持續感知、準確判斷和有效管理。

未來，聚光科技將繼續圍繞半導體檢測、過程監測和安全管理等關鍵場景，提升高端科學儀器對先進制造的支撐能力。